水晶振動子を用いた高性能力センサ
/High Performance Force Sensor using Quartz Crystal Resonator
圧電材料の一種である水晶振動子を用いて,異次元の性能(感度,ダイナミックレンジ,正確性,応答速度)力センサを研究しています.MEMS微細加工をベースとした素子の作製技術から, RFデバイス実装のメカトロニクスまで,広い範囲を研究しています.